新着情報 テーマカテゴリ 全カテゴリバイオテクノロジー医学・薬学農林水産・食品環境・エネルギー素材機械情報・通信エレクトロニクス航空・宇宙大気・海洋経済・経営・政策・法律土木・建築社会・文化・教育基礎科学 ごあいさつ ご利用にあたり 検索方法 プライバシーポリシー ご意見・ご質問 実例集 見つからない場合は? DUCRホームページへ トップページ geta_logo
print
印刷時に縮小されてしまう場合などにご利用ください。

整理番号 18   (公開日 2000年10月01日) (カテゴリ 素材機械エレクトロニクス
電子・光刺激脱離法のイメージング応用
●内容 この研究室では、電子線・光の照射により固体表面の各種性質を正確に知ることを目指した研究およびこれらに関連する研究を行っている。これまでに得た知見を基に、LSI等の微細加工物表面の不純物、吸着物のマッピングを非破壊でしかもリアルタイム(ミリ秒オーダー)で行う方法および装置の開発を行いたい。
●研究者
准教授 佐々木 岳彦
大学院新領域創成科学研究科 複雑理工学専攻
mail
上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
本件に関する共同研究等のお問い合わせは、左のバナーをクリックしてください。スタッフがお問い合わせをお受けいたします。