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整理番号 1806   (公開日 2003年10月20日) (カテゴリ バイオテクノロジー農林水産・食品環境・エネルギー素材エレクトロニクス
マイクロプラズマを基板上に集積化したプロセス装置-プラズマチップ/プラズマパネル-の開発
〜微小スケールプラズマ(ナノプラズマ・マイクロプラズマ)の開発と応用〜
●内容 当研究室では超微小空間(ナノスペース・マイクロスペース)における新しいプラズマ材料科学を世界に先駆けて提案・推進している。従来のマクロ空間でのプロセスプラズマとはまったく異なる、新しい物理・化学現象を伴った新規プラズマの生成が期待されており、その応用範囲は極めて広い。例えば、当研究室では、材料プロセシング、微細加工技術への応用として、微小プラズマを基板上に集積化したプロセス装置−プラズマチップ/プラズマパネル−を提案し、その開発を進めている。
微小空間に起因する動作圧力(大気圧近傍)の高さ、そして、プラズマの高密度性に起因する加工の高速性は、今後、加工速度のさらなる向上やコスト低減が要求される微細加工技術、実装技術に対して大きなインパクトを与えると期待されている。さらに、ナノプラズマ、マイクロプラズマのプロセス応用は、省資源、省エネルギーの環境調和型の新しい加工技術に基づくプロセス開発への発想の転換を実現すると期待されている。
以上のような微小スケールプラズマ技術の開発と応用に関心のある企業との共同研究を提案する。
●研究者
教授 寺嶋 和夫
大学院新領域創成科学研究科 物質系専攻
大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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