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整理番号 3237   (公開日 2006年03月15日) (カテゴリ 機械エレクトロニクス
エバネッセント光を利用したナノ光造形技術
●内容 光硬化性樹脂を用いた光造形技術をナノスケールの微小構造物の作製に応用することを目指し、エバネッセント光を用いる方法について研究を進めている。この方法は、樹脂硬化面での露光エネルギーとしてエバネッセント光を利用しているため、分解能に優れ、また、逆テーパ(オーバーハンギング)構造の成形が可能である等の特長を持っている。既に、定在エバネッセント波生成装置を開発し、これを用いた実験により、エバネッセント光による樹脂硬化および厚さ500 nm以下の積層造形が可能であることを確認している。この技術の実用化へ向け、企業との共同研究を希望している。
●研究者
教授 高橋 哲
先端科学技術研究センター  
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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