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整理番号 3238   (公開日 2006年03月15日) (カテゴリ バイオテクノロジーエレクトロニクス
定在波シフトによる光学式ナノ解像技術
●内容 半導体分野やバイオテクノロジー分野では測定対象の微細化が急速に進んでおり、高分解能で使い易いナノ計測手法の開発が求められている。現在用いられている主な手法は、電子顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡、光学顕微鏡であるが、光学顕微鏡は非破壊・非接触計測であるためスループットや汎用性において優れている。しかし、回折限界によりその分解能が数100 nm程度であるとの問題を抱えている。
この研究室では、光学式のスループットを持ち、かつ従来の光学式より高い解像度を持つ光学式ナノ解像技術を提案し、その実用化を目指した研究を進めている。これは2光による定在波を試料表面に形成し、その定在波の位置をPZTを用いてシフトさせた時に得られる複数の画像を計算機処理することによりレーリー限界をこえた解像度を得ることができるものである。また、この技術は全反射顕微鏡システムのエバネッセント照明にも適用可能である。
既に、理論解析と計算機シミュレーションを行い、照明光の波長の約1/10(50 nm程度)の分解能が得られることを確認するとともに、現在、実験による確認を進めている。この技術をLSIなど高集積半導体デバイスに応用することによりスループットの高い欠陥検出が可能となり、また非侵襲であることの特長を生かしたバイオテクノロジー分野への応用などが期待できる。この研究に関心を有する企業との共同研究を希望している。
●研究者
教授 高橋 哲
先端科学技術研究センター  
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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