新着情報 テーマカテゴリ 全カテゴリバイオテクノロジー医学・薬学農林水産・食品環境・エネルギー素材機械情報・通信エレクトロニクス航空・宇宙大気・海洋経済・経営・政策・法律土木・建築社会・文化・教育基礎科学 ごあいさつ ご利用にあたり 検索方法 プライバシーポリシー ご意見・ご質問 実例集 見つからない場合は? DUCRホームページへ トップページ geta_logo
print
印刷時に縮小されてしまう場合などにご利用ください。

整理番号 3793   (公開日 2007年02月20日) (カテゴリ バイオテクノロジー素材機械
ナノマイクロ加工技術の研究
●内容 この研究室ではナノマイクロ加工技術の研究開発を行なっている。半導体プロセスで進化している微細加工技術に加え、新たなナノテク融合分野の創製を目指して更なる新材料、難加工技術の新規プロセスの研究開発を行なっている。Ni基合金薄膜エッチング、Cr薄膜のナノ加工や、ガラス基板のMEMS加工技術など新材料の新規プロセス技術を開発している。これらの技術に興味ある企業や団体との共同研究の用意がある。
●研究者
教授 一木 隆範
大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻
●画像


クリックで拡大

図1 石英ガラスのディープエッチング
μTAS試作のために開発した高密度プラズマエッチングプロセスによる加工例
(C) 一木隆範

図2 ナノフラット電極の微細加工
DNAの電気伝導性評価のために試作されたナノ白金電極. 高精度メタルマスク加工技術や独自のリフトオフプロセスを利用した微細加工の一例
(C) 一木隆範
mail
上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
本件に関する共同研究等のお問い合わせは、左のバナーをクリックしてください。スタッフがお問い合わせをお受けいたします。