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整理番号 3794   (公開日 2007年02月20日) (カテゴリ バイオテクノロジー素材機械
マイクロプラズマの応用研究
●内容 この研究室では大気圧マイクロプラズマジェット源(図1)を開発しマイクロプラズマの局所性、高密度などの特徴を活かした高速加工システムの研究を行なっている。例えばマイクロプラズマジェットは内径100μmのノズル孔からアルゴンプラズマを噴射し、1分間照射でシリコンウエハ上に400μmΦの微細孔形状を加工可能である。(図2)これらはシリコン他各種材料の高速加工、微小部材のエッチング、局所領域の表面処理成膜などに応用可能である。本システムの応用に興味ある企業との共同研究を望む。
●研究者
教授 一木 隆範
大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻
●画像


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図1 小型マイクロプラズマジェット源
(C) 一木隆範

図2 マイクロプラズマジェットによるシリコンウエハの加工例
40秒間プラズマジェットを直接照射。
(C) 一木隆範
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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