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整理番号 4079   (公開日 2007年07月11日) (カテゴリ 医学・薬学環境・エネルギー機械エレクトロニクス
新しいエネルギー分散型蛍光X線分析装置を用いる微量元素分析法
●内容 この研究室では、従来の数10倍のエネルギー分解能をもつ、新しい原理に基づくエネルギー分散型検出器を開発することによって、高効率・高分解能の蛍光X線分析装置を開発した。この装置を用いることによって、例えば、シリコンウェハや生体試料中の近縁不純物を高い分解能で、極めて効率よく定性・定量することが可能となった。この技術に興味を有する企業と共同で実用化に取り組むことが可能である。
●研究者
教授 高橋 浩之
大学院工学系研究科 総合研究機構
●画像


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X線検出原理図と、20ピクセルのセンサ
(C) 高橋 浩之

開発した超伝導転移端センサを用いて測定した高分解能蛍光X線分析の例。従来のシリコン半導体を用いた場合と比較して元素の弁別が一目瞭然である
(C) 高橋 浩之
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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