新着情報 テーマカテゴリ 全カテゴリバイオテクノロジー医学・薬学農林水産・食品環境・エネルギー素材機械情報・通信エレクトロニクス航空・宇宙大気・海洋経済・経営・政策・法律土木・建築社会・文化・教育基礎科学 ごあいさつ ご利用にあたり 検索方法 プライバシーポリシー ご意見・ご質問 実例集 見つからない場合は? DUCRホームページへ トップページ geta_logo
print
印刷時に縮小されてしまう場合などにご利用ください。

整理番号 4610   (公開日 2008年09月19日) (カテゴリ 素材エレクトロニクス
独立駆動型4探針走査トンネル顕微鏡(STM)プローバーを用いたナノ評価技術
●内容 この研究室では1原子層程度の厚さ・幅・大きさをもつナノメータ構造体の原子配列、電子状態、電子輸送特性、量子効果などの研究を行っている。その研究を通じて走査トンネル顕微鏡・4探針プローブ法などで独自の工夫を加えながら真空中での各種実験手法を確立してきた。特に、この研究室で開発を進めてきた独立駆動型4探針STMは、数10nm領域での電気伝導度、伝導度異方性等を2探針では得られない高い精度で測定できるなど多くの特長を持ち、すでに装置の製品化段階に入っている。この4探針STM評価技術は、LSIの欠陥評価、ナノデバイス薄膜の微細評価など今後のナノ構造体の表面特性評価に有用なものであり、この研究室が持つ装置、評価ノウハウ等をもとに、具体的課題・試料を持つ企業への協力が可能である。また、実デバイス評価のための周辺機器の拡張について企業の協力を請う。
●研究者
教授 長谷川 修司
大学院理学系研究科 物理学専攻
●画像


クリックで拡大

金属被覆カーボンナノチューブを用いた4探針のSEM写真
(C) 長谷川研究室
mail
上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
本件に関する共同研究等のお問い合わせは、左のバナーをクリックしてください。スタッフがお問い合わせをお受けいたします。