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整理番号 4960   (公開日 2009年06月18日) (カテゴリ 機械情報・通信エレクトロニクス
マイクロメカトロニクス(MEMS)の光・RF応用
●内容 この研究室ではシリコンマイクロマシニング技術の微小光学応用、光通信応用、および、高周波(RF)通信技術に関する研究開発を行っている。半導体マイクロマシニング(半導体プロセス)、MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 技術、マイクロアクチュエータの設計・製作の技術・ノウハウがあり、当該分野での製品開発カウンセル、最近の研究動向の調査研究に関して企業からの相談に応じる。今回は特に、CMOS-First型の集積化MEMSのプロセス技術、マルチチップ型試作、MEMSアクチュエータと回路の統合解析(mixed-signal analysis)手法に関する共同研究が可能である。
なお、これまでに下記の共同研究・受託研究、研究員の受入および教育指導の実績があり、その一部は商品化に成功した。
・光ファイバ通信用MEMSコンポーネント(光可変減衰器、可変波長フィルタ)
・MEMSミラー走査型プロジェクション画像ディスプレィ
・光干渉制御型フレキシブル画像ディスプレィシート
・医療応用超小型光ファイバ内視鏡
・高周波(2GHz〜12.5GHz)通信用マイクロ波スイッチ
●研究者
教授 年吉 洋
先端科学技術研究センター  
生産技術研究所 附属マイクロメカトロニクス国際研究センター
●画像


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集積化MEMSプロセスの標準化
シリコン基板上に先にCMOS回路を集積化し、後からMEMS機械構造を追加工する製造技術を開発した。これの技術を基盤として、マルチユーザー・マルチチップ型の低コスト・短期間試作サービスを検討中である。
(C) 年吉研究室

CMOS−MEMS統合解析CADシステム
電気回路シミュレータを用いてMEMS機械構造の動作特性を解析する手法を開発した。電気回路とMEMSとの統合解析が可能となり、集積化MEMSセンサ・アクチュエータの開発環境を整備する。試用したソフトはフリーウェア。
(C) 年吉研究室
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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