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整理番号 5451   (公開日 2010年06月09日) (カテゴリ バイオテクノロジー環境・エネルギー機械エレクトロニクス
微細形状の創成と転写
●内容 この研究室では、プラスチックやガラス、セラミクス、金属などの表面に微細形状を創成する研究に取り組んでいる。1辺がおよそ100nmの微細形状が連なる構造物自体はリソグラフィ技術を用いて創成可能になったが、それら構造物を曲面上に配向させる、何層にも積層する、何千枚の基板に転写する、あるいは1メートル四方の広い範囲に付与するなどの加工技術は著しく困難である。
そこで、リソグラフィ技術の活用を最小限に抑え、さまざまな微細加工技術を組み合わせながら、無反射表面を有する、あるいは離散形状のメモリー素子や微細配線・配管などのナノ構造物の製造に関して応用研究中である。
●研究者
教授 中尾 政之
大学院工学系研究科 機械工学専攻
特任教授 濱口 哲也
大学院工学系研究科 機械工学専攻
准教授 長藤 圭介
大学院工学系研究科 機械工学専攻
●画像


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多層に積層した微細構造
ローラ金型を用いて4層を順に転写して接着した。途中に穴があかないようにSiO2を成膜した。
(C) 中尾 政之

ナノワイヤを用いた無反射面
曲面の基板からナノワイヤを析出させて、無反射面を表面に有する金型を作った。プラスチックに転写し、形状を反転させるとそれも無反射面になる。
(C) 中尾 政之
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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