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整理番号 5461   (公開日 2010年06月30日) (カテゴリ 環境・エネルギー素材機械
硬質カーボン(DLC)膜の3次元コーティング
●内容 表面機能工学研究室では、固体薄膜、有機単分子膜、液体薄膜など厚さ数nm〜数μmの薄膜の機械・熱・電気・光特性を明らかにするための研究を行っている。特に、1.バイポーラ型プラズマ利用イオン注入・成膜法(Bipolar Plasma Based Ion Implantation and Deposition, Bipolar PBII&D法)を用いて、硬質カーボン膜(Diamond-Like Carbon膜, DLC膜)のマクロ・マイクロ・ナノスケールの三次元コーティング、2.極低摩擦、高吸着性、高密着性、熱安定性、ガスバリア性、透光性等を有するDLC膜の研究、3.硬質カーボン膜の表面上の自己組織化単分子膜(Self-Assembled Monolayer, SAM)の形成過程の研究および表面エネルギーの制御、4.厚さ数十nmの液体薄膜のナノレオロジー特性解明の研究を行っている。
●研究者
教授 加藤 孝久
大学院工学系研究科 機械工学専攻
准教授 崔 埈豪
大学院工学系研究科 機械工学専攻
●画像


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[図1]Bipolar PBII&D法
Bipolar PBII&D法の模式図
(C) チェ ジュンホ

[図2]3次元コーティングの例
計量スプーン表面への3次元DLCコーティングの例
(C) チェ ジュンホ
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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