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整理番号 5477   (公開日 2010年07月08日) (カテゴリ 機械
計測における超高精度化技術
●内容 特に複雑な形状の計測に関しては、その結果の不確かさについて検証を行うとともに、的確な校正を施すことが不可欠である。一般的には相対的に10-3オーダーの精度で測定がなされているが、当研究室では広範囲な対象物の高精度測定の研究を進めている。具体的には、10-6オーダー、微細化の面ではナノメートルレベルまで行うことを目指しており、このような高精度の測定を必要とする企業等に対し、理論面からのコンサルティングが可能である。例えば、ナノメートル平面の形状を測定し、その測定結果の不確かさ推定が可能となる。
●研究者
教授 高増 潔
大学院工学系研究科 精密工学専攻
●画像


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ナノメートル表面の計測
ナノメートル表面の広い範囲の計測を行い、同時に測定の不確かさを評価することができる。
(C) 高増研究室

不確かさの評価例
不確かさ解析手法を高度化することで、ナノメートル計測の不確かさ推定が可能となる。
(C) 高増研究室
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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