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整理番号 5483   (公開日 2010年07月12日) (カテゴリ 機械
多点法を用いたナノメートル形状測定
●内容 ナノメートル形状の形状測定を行う場合、ステージの移動精度が測定の限界となる。そこで、複数の変位センサと1つの角度センサからなる多点法を構成し、ステージの並進、回転誤差を分離して、形状測定を行う。多点法によれば、ステージの移動精度によらない高精度な形状測定が可能となる。さらに、誤差伝播を利用して、測定結果の不確かさが推定できる。
●研究者
教授 高増 潔
大学院工学系研究科 精密工学専攻
●画像


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多点法による形状測定
形状を2つ以上の変位センサと1つの角度センサによって多点法で測定する。この方法では、移動ステージの誤差を分離して形状測定が可能である。
(C) 高増研究室

多点法による測定結果の不確かさ推定
誤差伝播により、測定結果の不確かさ推定を行うことができる。
(C) 高増研究室
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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