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●内容 | この研究室では、電磁波を用いた効率的かつ高性能なプラズマ発生方法を見い出し、その基礎実験と理論的解析を行っている。この方法は、電子運動に強いカオスを引き起こすことによって電子を効率に加熱してプラズマを生成する。従来の方式より異なる電子エネルギーで動作することから、ラディカルやイオンの組成が異なるプラズマを得ることができ、また装置を小型化・効率化できる可能性がある。プラズマによるエッチング、表面改質、化学分析装置、バイオ技術などへの応用が期待される。 このような原理に基づくプラズマ発生の機器開発、製品化について興味を有する企業との共同研究を希望する。 |
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●研究者 |
教授
吉田 善章
大学院新領域創成科学研究科 先端エネルギー工学専攻 |
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