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整理番号 6624   (公開日 2013年09月18日) (カテゴリ 環境・エネルギー機械基礎科学
シリコンナノ構造を用いた熱伝導制御と熱電変換応用
●内容   エネルギー持続可能社会に貢献が期待される熱電変換技術のうち、高い熱電変換効率を有する材料の開発は、最も重要な課題のひとつである。本技術の普及のために取り組むべき重要な課題は、高効率化と高環境負荷材料からの脱却である。
  本研究では、マイクロエレクトロニクスと互換性が高く、低環境負荷なシリコンを材料に選択し、ナノ構造を用いて熱伝導率を人工制御することで、シリコンを高効率熱電変換材料に昇華させることを目的としている。
  具体的には、シミュレーションによって、伝熱制御に有効と考えられる構造を予測したうえで、その知見に基づいてシリコン薄膜をリソグラフィー技術で100 nm程度の周期構造を有する様々なシリコンナノ構造を作製している。10マイクロメートル程度の構造の熱伝導率を光学的に測定可能な系を用いて、測定対象のナノ構造の熱伝導率を含んだ情報を得て、シミュレーションソフトを用いた解析によって熱伝導率を得ることができる。
  低消費電力エネルギー自立型デバイス用のエネルギーハーベスターなどへの応用を考えており、ナノ構造伝熱といった基礎的なところから、低温域でのエネルギーハーベスティングに興味のある企業・団体との共同研究を歓迎する。
●研究者
准教授 野村 政宏
生産技術研究所 附属マイクロメカトロニクス国際研究センター
●画像


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(C) 野村 政宏

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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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