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整理番号 6707   (公開日 2014年02月27日) (カテゴリ 機械情報・通信エレクトロニクス
MEMS可変共振子アレイによる小型かつ高機能なテラヘルツ光フィルタ
●内容 テラヘルツ光の応用は、空港のセキュリティ・チェックへの応用が考えられているが、そのポテンシャルは単に金属異物の検出には留まらない。この波長帯では物質の分子構造によって吸収スペクトルが敏感に変化するため、特定波長の透過率から材料組成の推測が可能である。ただし、同技術の普及には、テラヘルツ光学系の小型化・高機能化が必要である。そこで本研究では、MEMS技術を用いて可変スプリット・リング共振子アレイを製作し、それをもとにテラヘルツ光向けの可変透過光学フィルタの設計・製作・評価を実施する。これにより、食品工場の品質検査や残留農薬検出、医薬品の純度測定や投薬効果の定量的評価、新規材料開発のための評価機器など、幅広い応用先への展開を目指す。
本研究の実用化もしくは共同研究に興味を持つ企業を募集したい。
●研究者
教授 年吉 洋
先端科学技術研究センター  
生産技術研究所 附属マイクロメカトロニクス国際研究センター
●画像


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MEMS技術による透過型テラヘルツ波長フィルタの概念図
従来の反射型光学系を、MEMS技術により小型化する。
(C) 年吉 洋

MEMSスプリット・リング共振子の原理図
静電駆動型の可変容量によりテラヘルツ透過波長を制御するアレイの要素デバイス。
(C) 年吉 洋
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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