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整理番号 6720   (公開日 2013年12月26日) (カテゴリ 機械情報・通信エレクトロニクス
画期的な細穴内部形状測定装置の商品化
●内容 精密加工・精密計測を専門とするこの研究室では、高アスペクト比を持つ細穴の内部プロファイルを精密に測定できる装置を開発し、既にその精度、実用性等を確認済である。この装置により、微細な穴(直径数10ミクロン、深さ数100ミクロン)の内部プロファイルを精密に測定可能である。これは、先端にシャープなチップを有するシリコン製マイクロプローブとプローブに組み込まれたピエゾセンサーを用いて行うもので、計測はPCにより自動化されている。プローブを細穴に挿入し壁面に押し当てたときの応力カーブから壁面の正確な位置を計算により求める。ノイズやドリフトに強い方式であるため、測定のリピータビリティーは±30ナノメートルと高い。この装置の商品化を進める企業を求めている。
●研究者
教授 金 範埈
生産技術研究所 附属マイクロメカトロニクス国際研究センター
●画像


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図1 MEMS技術で製作したシリコンのマイクロツインプローブ(細穴内部形状の測定用)
(C) 金 範埈

図2 マイクロ放電加工により製作された細穴の内部形状の測定結果
(C) 金 範埈
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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