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整理番号 6742   (公開日 2014年01月31日) (カテゴリ バイオテクノロジー素材機械情報・通信エレクトロニクス
マイクロ・ナノ加工技術とその評価手法
●内容 この研究室では、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術からバイオ材料プロセスに至る様々のマイクロ・ナノ加工技術を研究している。また、作製した構造やデバイスの形状、寸法、動きなどを評価する手法も研究している。
(1) 半導体微細加工に基づく立体マイクロ・ナノ加工技術(MEMS技術)、
(2) トップダウンのMEMS技術とボトムアップのバイオ材料プロセスを融合し、MEMSに生体機能を取り込むナノ加工技術(BEANS技術)、
(3) 高分解能電子顕微鏡、走査プローブ顕微鏡(STM,AFM)、蛍光顕微鏡、レーザードップラー速度計などを用いたナノ領域での測定・観察手法。
ナノ加工とナノ領域での計測を応用して有用なマイクロナノマシンを開発する共同研究を希望する。特に企業からの具体的テーマの提案を期待する。
●研究者
教授 藤田 博之
生産技術研究所 附属マイクロメカトロニクス国際研究センター
●画像


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MEMS加工で変位センサ、静電アクチュエータ、微細構造を集積したデバイス
SOIシリコン基板を高異方性ドライエッチングで加工して作った、マイクロ粘性測定デバイス。微量の液体を粘性測定部に捕え、ずれ応力を加えた時の振動特性から液体の持つ表面張力と粘度を決定する。
(C) 生産研 藤田(博)研究室

半導体マイクロマシーニングで作った垂直なナノ・シート構造
厚みが100 nmで、高さ2.5μmのシリコン酸化膜が、基板から垂直に立ったナノ・シート構造。SOI基板に、シリコンの高異方性ドライエッチングと熱酸化を交互に繰り返して作成した。
(C) 生産研 藤田(博)研究室
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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