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整理番号 6794   (公開日 2014年07月11日) (カテゴリ 情報・通信エレクトロニクス
シリコン上ゲルマニウム結晶層を用いた近赤外イメージセンサに関する研究
●内容 シリコンイメージセンサは、可視光に対して良好な感度をもち、ディジタルカメラや携帯電話など多くの電子製品に組み込まれている。一方で、波長1ミクロン程度以上の近赤外光は動植物内部で吸収されにくく、よく侵入するため、内部診断に利用できる可能性が高いが、シリコンイメージセンサは近赤外光への感度がない。この研究室ではシリコンウエハ上にゲルマニウム層を形成する気相成長技術(シリコン集積回路プロセスに互換性有)を用いて、1.6ミクロンまでの近赤外光に感度をもつ受光器を実現している。さらに、選択成長法により受光器を二次元に配列した構造も可能となっている(図1)。このようなシリコン上ゲルマニウム近赤外受光器アレイを用いた透視診断技術(例えば、生体計測への適用)に関心のある企業などと共同で研究を行いたい。
●研究者
准教授 石川 靖彦
大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻
●画像


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[図1]シリコン上ゲルマニウム層の二次元アレイ構造
(C) マイクロフォトニクス研究室

[図2]人体での光吸収スペクトル
(C) マイクロフォトニクス研究室
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学協創推進本部で骨子をまとめたものです。
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