DUCR
整理番号 4434   (公開日 2008年02月05日) (カテゴリ バイオテクノロジー/医学・薬学/機械/情報・通信/エレクトロニクス)
低コスト・大面積 新マイクロ・ナノパターニングの研究開発
●内容 マイクロ・ナノメータースケールでのパターニングは、マイクロ電子回路、デジタル記憶媒体、集積化マイクロ・ナノシステム、バイオ・有機材料デバイス等の数多くの応用にとって重要である。この研究室では特に低コスト・大面積・高スループットでのマイクロ・ナノパターニング法の研究を行っている。シャドウマスクを用いた多機能マイクロパターニング装置開発に関して、MEMS技術を用いた微細シャドウマスクと多機能噴射システムを開発し50nm以下のパターニングを目指している。また機能性自己組織化単分子膜(Self-Assembled Monolayer, SAM)をサブマイクロメータスケールでパターニングするための新しいマイクロ・ナノプリンティング法を開発している。さらに、マイクロコンタクトプリンティングプロセスを用いて3次元曲面上にマイクロパターンを製作できる新規3次元マイクロパターニング法も開発した。これらマイクロ・ナノパターニングの研究及び応用に関し企業との共同研究を希望している。
●研究者
教授 金 範埈
生産技術研究所 附属マイクロナノ学際研究センター
●画像



広面積、新規ナノパターニング技術の開発
(a)液中マイクロコンタクトプリンティングによる大面積マイクロパターン
(C) 金範埈

(b) マイクロシャドウマスクを用いた直接ナノ金属のパターニング
(C) 金範埈
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上記内容は、各研究者へのインタビューをもとに東京大学 産学連携本部で骨子をまとめたものです。
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