マイクロ波透過計によるプロセスプラズマの密度測定
江尻 晶大学院新領域創成科学研究科 複雑理工学専攻
プラズマの密度を測定する手段として静電プローブとマイクロ波干渉計がある。前者は簡便であるが測定プラズマを乱してしまうという欠点がある。後者は信頼性は高いが測定システムが複雑で空間的情報が得られないという欠点がある。マイクロ波透過計により簡単なシステムで局所的な密度情報を得られる可能性があるが、まだ、実際のプラズマで試験されていない。この手法はマイクロ波の透過率を周波数の関数として測定するもので、周波数可変の発振器と検出器から構成される。図は、プロセスプラズマへの適用の概念をしめしたものであり、プラズマへ入射されたマイクロ波は、基板で反射し、再びプラズマを透過して検出される。数値的、解析的な検討の結果、この手法は厚みが比較的薄く、長さ方向に一様なシート状のプラズマに対して有効であり、プロセスプラズマへの適用が期待される。
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マイクロ波透過計によるプロセスプラズマの密度測定
江尻 晶大学院新領域創成科学研究科 複雑理工学専攻
プラズマの密度を測定する手段として静電プローブとマイクロ波干渉計がある。前者は簡便であるが測定プラズマを乱してしまうという欠点がある。後者は信頼性は高いが測定システムが複雑で空間的情報が得られないという欠点がある。マイクロ波透過計により簡単なシステムで局所的な密度情報を得られる可能性があるが、まだ、実際のプラズマで試験されていない。この手法はマイクロ波の透過率を周波数の関数として測定するもので、周波数可変の発振器と検出器から構成される。図は、プロセスプラズマへの適用の概念をしめしたものであり、プラズマへ入射されたマイクロ波は、基板で反射し、再びプラズマを透過して検出される。数値的、解析的な検討の結果、この手法は厚みが比較的薄く、長さ方向に一様なシート状のプラズマに対して有効であり、プロセスプラズマへの適用が期待される。
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