水素の高精度分析―水素のナノメートル空間分布測定法とレーザー分光法の応用
福谷 克之生産技術研究所 基礎系部門
この研究室では、機能性薄膜や界面の開発と分析技術の研究を進めている。これまでに、高速イオンを用いた軽元素(特に水素)のナノメートルレベルの3次元空間分布測定法を開発した。この手法をさらにリチウムなどの元素への展開をはかりつつある。また,レーザー分光を用いた水素の分光法も開発している。