マイクロ・ナノエレクトロニクスに関する観察・測定技術のコンサルティング
高橋 琢二生産技術研究所 情報・エレクトロニクス系部門
この研究室では、以下のようなマイクロ・ナノエレクトロニクス分野における観察・測定に関する研究開発を行っている。 1.走査プローブ顕微鏡(SPM)と光の複合的利用 光誘起電流測定、光起電力マッピング 2.走査トンネル分光法(STS) 低次元系半導体材料中の新しい物理現象の観察 3.新しい走査プローブ顕微鏡(SPM)手法の開発 画像獲得の高速化、性能向上のための新しい動作原理の提案 4.導電性/磁性探針を用いた原子間力顕微鏡(AFM) 形状と電流の同時測定、ケルビンプローブフォース顕微鏡(KFM)による表面 電位の測定、磁気力顕微鏡(MFM)を利用した微小電流計測